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    在器件批量生产之前,充分了解制造器件所涉及的工艺至关重要,这就要求对制成中每个工艺下纳米甚至原子尺度的器件的化学和结构信息了然于心。能谱分析(EDS)和电子背散射衍射(EBSD)技术的发展,提供了一种可以快速、准确地了解制造工艺。

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