ALD镀膜的保形性，可均匀覆盖3D蓝宝石等衬底，顶部、侧壁、底部的镀膜厚度一致，可达到90%以上的镀膜台阶覆盖率。
左图：ALD镀膜的保形性，可均匀覆盖3D蓝宝石等衬底，顶部、侧壁、底部的镀膜厚度一致，可达到90%以上的镀膜台阶覆盖率。
右图：不同厚度，ALD工艺的Al2O3的绝缘性能对比，厚度越厚绝缘性能越好；O3+TMA工艺比H2O+TMA工艺的绝缘性能好一些。200℃、120nm的Al2O3薄膜击穿电压达到10MV/cm(测量上限）。
Excellent conformality: cross-sectional SEM image of 110nm Al2O3 ALD film coating on a 3D sapphire.
左图：ALD镀膜的保形性，可均匀覆盖3D蓝宝石等衬底，顶部、侧壁、底部的镀膜厚度一致，可达到90%以上的镀膜台阶覆盖率。
右图：不同厚度，ALD工艺的Al2O3的绝缘性能对比，厚度越厚绝缘性能越好；O3+TMA工艺比H2O+TMA工艺的绝缘性能好一些。200℃、120nm的Al2O3薄膜击穿电压达到10MV/cm(测量上限）。