A800LS: 适用于Mini-LED 和Micro-OLED的高效阻隔薄膜

Mini LED的金属电极保护，有效防止金属迁移，延长LED寿命

概述

ALD阻水薄膜用于：

1、Mini LED的金属电极保护，有效防止金属迁移，延长LED寿命；

2、Micro OLED的封装，高达10^-5量级的WVTR效果（叠层ALD镀膜50nm），有效阻隔环境水汽进入有机发光层导致OLED失效。

ALD阻水薄膜用于：

1、Mini LED的金属电极保护，有效防止金属迁移，延长LED寿命；

2、Micro OLED的封装，高达10-5量级的WVTR效果（叠层ALD镀膜50nm），有效阻隔环境水汽进入有机发光层导致OLED失效。

ALDER-500PAS(A500PAS)是一种为了满足各种涂层研发及中型批量量产而进行优化设计的中型ALD装置。

A1000PC是面向于工业化大规模生产的原子层沉积系统，低温镀膜设计可以在各种3维基板上沉积高质量光学薄膜。

A800LS的小型化布局设计使得维护等操作在灰区进行，节省了洁净间占地面积。相应的维护操作更简便，消耗品使用更少，满足工业化所需的高重复性和高可靠性镀膜。

比特28wdA800TBS原子层沉积系统是专业应用于晶圆级光学领域的工业化批量式ALD，例如：光栅间隙填充，三维表面修饰，器件封装和沉积增透减反膜。